準確度：某個參數（如厚度）的測量值與真實值之間的一致性。

聲阻抗：定義為聲速乘以密度的一種材料屬性。兩種材料之間邊界處的聲波反射量基于聲阻抗的比率得出。

波幅：波幅是指在聲波運動中物質粒子的最大位移。在電子學中，信號的大小，通常表示為正電壓或負電壓。

衰減：聲程上任何兩點之間發生的聲能損失。

底面回波：從被測樣件的底面反射的聲波，底面與探頭和被測樣件耦合接觸的面正好相對。對這個回波的計時對應于工件在這個點上的厚度。

接觸式探頭：接觸式探頭在使用時與被測材料直接接觸。

耦合劑：用于探頭和被測件之間的一種材料，通常是液體或凝膠，目的是消除探頭和被測樣件之間的空氣并促進聲能的耦合。

延遲塊：放置在探頭前面的一種材料（通常是塑料），目的是在激勵脈沖和來自被測樣件表面的回波之間創建時間延遲。

延遲塊探頭：包含延遲塊的一種探頭。

雙晶探頭：發射晶片和接收晶片分開放置的探頭，常用于腐蝕測量。

激勵脈沖：施加到超聲探頭中的壓電晶片上的短暫電脈沖，使晶片振動并產生聲波。也戲稱為“大爆炸"。

頻率：振蕩體在一定時間段內（通常為一秒）經歷的振動周期數。在電學上，頻率是指周期信號（例如正弦波）在一定時間段內重復的速率。

增益：在超聲測厚儀中，增益是指由放大器產生的信號強度的增加，通常表示為輸出功率與輸入功率的比率，單位為分貝。

水浸檢測：通過水層或水槽將聲能從探頭耦合到被測材料中的一種檢測方法。

水浸探頭：用于水浸檢測的探頭。

界面回波：使用延遲塊或水浸探頭時，可以觀察到的從被測樣件表面反射的回波。

縱波：一種聲波傳播模式，通常用于超聲測厚，特點是粒子運動平行于聲波傳播的方向。可聽到的聲波也屬于縱波。

測量模式：在厚度測量中計時回波的方法，通常分為模式1、模式2和模式3。

相位顛倒：聲波正負峰值位置顛倒的情況。

范圍：使用特定探頭和儀器設置，可以測量的材料最大厚度和最小厚度之間的范圍。

分辨率：在厚度測量中，可以區分略微不同的厚度或時間間隔的程度。

聲速：聲波在特定材料中傳播的速度。

聲波：是在固體、液體或氣體介質中機械振動的一種連貫模式。

探頭：是將一種形式的能量轉換為另一種形式能量的裝置。在超聲檢測中，通常是指將電能轉換為機械能，或將機械能轉化為電能。

超聲波：指頻率高于人類聽覺極限的聲波，一般定義為每秒20000次（20 KHz）。

波形：波列中能量水平的圖形表現，基于波幅與時間的關系繪制。

零位偏移：一種校正因子，代表測厚儀測到的時間與聲波在被測樣件中實際傳播時間之間的差異，一般因轉換延遲、電纜延遲及防磨板和耦合劑的厚度引起